HPL/SPL模組采用無(wú)鐵芯U型槽直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，平臺(tái)行程從100至600mm;平臺(tái)采用進(jìn)口7075#航空鋁經(jīng)一體化加工成型，同時(shí)減少因?qū)к壓弯X主體不同的熱膨脹系數(shù)引起的折彎效應(yīng)；平臺(tái)集成具有非常好的線(xiàn)性表現(xiàn)的開(kāi)放式增量光柵系統(tǒng)，可以提供亞納米級(jí)的分辨率、重復(fù)性和穩(wěn)定性。穩(wěn)定的光學(xué)零位，保障雙向回零的重復(fù)性和可靠性。經(jīng)激光干涉議標(biāo)定補(bǔ)償，可以輕易獲得理想的定位精度。輕松實(shí)現(xiàn)您對(duì)于高精密定位的要求。該模組擁有優(yōu)良的設(shè)計(jì)，嚴(yán)苛的軸系系統(tǒng)裝配工藝，具有非常高的性能，但成本低，這使得HPL-LM系列 直線(xiàn)模組得以廣泛適用于需要成本效益、精密解決方案的工業(yè)應(yīng)用，如半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)、微電子組件測(cè)試、取放、DNA測(cè)序、激光加工等領(lǐng)域。 同茂直線(xiàn)電機(jī)生產(chǎn)廠家研發(fā)的XY Table 或者XY_Z Table由標(biāo)準(zhǔn)單軸精密直線(xiàn)模組構(gòu)成，可同時(shí)對(duì)兩臺(tái)同茂直線(xiàn)電機(jī)進(jìn)行同步或者單獨(dú)控制。
        由于采用標(biāo)準(zhǔn)直線(xiàn)模組進(jìn)行疊加組合應(yīng)用，因此可根據(jù)實(shí)際需要分別對(duì)行程、負(fù)載、定位精度、雙向重復(fù)定位精度進(jìn)行選擇，可選范圍寬、組合靈活、成本低等特點(diǎn)，是一款模塊化的直驅(qū)產(chǎn)品實(shí)用直線(xiàn)模組。

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