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同茂直線模組、直線滑臺、直角坐標(biāo)機器人
同茂直線模組、直線滑臺、直角坐標(biāo)機器人。直線模組特點是行程可延長、精度高。
同茂的直線模組、直線滑臺、直角坐標(biāo)機器人擁有優(yōu)良的設(shè)計,嚴(yán)苛的軸系裝配工藝,具有非常高的性能。
直線模組:
行程(tranel):100mm~600mm
定位精度高達(dá)(直線誤差修正后):±1μm(Travel≦200mm);
穩(wěn)定且優(yōu)良的軸系提供了很好的平滑運動,經(jīng)算法優(yōu)化可以獲得很小的動態(tài)跟隨誤差;
線性表現(xiàn)優(yōu)良的光柵反饋系統(tǒng),可以獲得很好的point-to-piont位置精度以及亞微米級的重復(fù)性;
標(biāo)準(zhǔn)的模塊化設(shè)計,靈活的單軸/多軸解決方案;
整體密封結(jié)構(gòu),輕量化、高剛性結(jié)構(gòu)設(shè)計,低成本,高性能;
同茂電機研發(fā)直線模組直驅(qū)平臺采用同茂電機的無鐵芯U型槽直線電機驅(qū)動,平臺行程從100至600mm;平臺采用進(jìn)口7075#航空鋁經(jīng)一體化加工成型,同時減少因?qū)к壓弯X主體不同的熱膨脹系數(shù)引起的折彎效應(yīng);平臺集成具有很好的線性表現(xiàn)的開放式增量光柵系統(tǒng),可以提供亞納米級的分辨率、重復(fù)性和穩(wěn)定性。穩(wěn)定的光學(xué)零位,保障雙向回零的重復(fù)性和可靠性。經(jīng)激光干涉儀標(biāo)定補償,可以輕易獲得理想的定位精度。輕松實現(xiàn)您對于高精密定位的要求。
直線模組平臺擁有優(yōu)良的設(shè)計,嚴(yán)苛的軸系裝配工藝,具有較高性能,但成本低,這使得HPL-LM系列直驅(qū)平臺得以廣泛適用于需要成本效益、精密解決方案的工業(yè)應(yīng)用,如半導(dǎo)體晶圓檢測、微電子組件測試、取放、DNA測序、激光加工等領(lǐng)域。
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