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美慌得一米,國產(chǎn)直線模組刻蝕機達到先進水平

文章出處:同茂電子人氣: 發(fā)布時間:2018/7/26 9:23:51

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,英文Etch,它是半體制造工,微IC制造工以及微制造工中的一種相當重要的步,是與光刻聯(lián)系的形化(pattern)理的一種主要工。隨著微制造工發(fā)展,廣上來,刻成了通溶液、反應(yīng)離子或其它機械方式來剝離、去除材料的一種統(tǒng)稱,成微加工制造的一種普適叫法。

機的工作原理可以分干刻、濕刻兩大類。其中濕刻是將硅片浸泡在可以與被刻應(yīng)的化學液體中,除去不需要的部分,是早期工采用多的方法。不,濕刻不可避免的會在刻側(cè)壁形成橫向鉆蝕,無法很好的控制線寬,所以,在工達到微米以后,生產(chǎn)中更多的是采用沒有液體參與的干刻技術(shù),如直激光刻蝕機。

激光刻蝕適用與晶硅效率高太陽能電池片邊緣絕緣線的刻蝕,設(shè)備一般采用效率高的激光器、大理石加工機座、自動上下料機構(gòu)、工作平臺、CCD視覺定位,實現(xiàn)離線全自動封閉式的效率高的太陽能電池片的邊緣絕緣刻蝕加工。

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